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電子元器件及其結構正日趨微型化，這使得鍵合工藝的難度與日俱增。傳統工藝在此領域早已觸及性能天花板，但荷蘭初創企業 Fonontech 研發的 Impulse Printing? 工藝卻帶來了全新突破。該工藝可實現微米級 3D 結構的半導體先進封裝。倍福的 XFC 組件和 EtherCAT 是實現該工藝的關鍵。

電子元器件的微型化趨勢使得傳統光刻工藝越來越難以經濟、可靠地制備元器件之間的互連結構?！皞鹘y制造技術已接近其性能極限。通過我們的 Impulse Printing? 技術，我們正在推動工藝邁向新高度。”總部位于埃因霍溫的荷蘭初創公司 Fonontech B.V. 首席技術官 Fabien Bruning 說道。

該工藝的核心組件是表面蝕刻有微米級結構的硅層轉印基板。這些微米級結構可以吸附油墨，并在后續工序中將油墨轉印至基板（印刷電路板）表面。除了蝕刻好的導電線路外，轉印基板還集成有加熱結構。Fabien Bruning 解釋道：“極高強度的瞬時電流脈沖會引起極少量的油墨溶劑在與晶圓接觸時瞬間發生微爆式氣化， 將油墨從晶圓表面精準噴印至電路板?！盕onontech 公司 CEO Rob Hendriks 補充道：“該工藝即便在超過 60 厘米的間距下仍能穩定運行，但在此距離下精度會有所降低?！?/p>

必須確保印刷過程同時滿足非接觸式操作與高速運行這兩個要求。一次電流脈沖即可在不到 1 毫秒的時間內完成電路板或其它基板上數千條線路的印刷。此外，加熱結構的選擇性加熱功能還可實現印刷中的結構與基材之間的局部對齊。Fonontech 研發的打印頭面積為 128 x 128 毫米，支持所有常見油墨類型。“該技術可實現 300 毫米晶圓或 600 x 600 毫米基板的快速印刷，這一規格正逐步成為半導體后道封裝的新標準?！盕abien Bruning 說道。通過平板加熱裝置與鋼網印刷工藝的協同作業，設備能夠實現更大尺寸部件的制造，例如平板顯示器。多個打印頭可便捷地并排安裝，以實現這一需求。

01  快速精準：通過基于 PC 的控制技術

該工藝采用倍?；?PC 的控制實現全流程自動化?！巴ㄟ^集成 EtherCAT 和 XFC 技術，Fontech 能夠實時同步并精確定位設備的各個模塊。”倍福荷蘭分公司銷售工程師 Stijn de Bruin 解釋道。在原型機制造階段，Fabien Bruning 從項目初期就確定了最大程度地采用標準組件的設計策略。正如他所解釋的，選擇倍福一部分原因是看重 TwinCAT 3 控制軟件的高度靈活性： “例如，我們在 Simulink? 中開發了算法，并在 TwinCAT 中實時執行這些算法?！彼€補充說，許多第三方供應商都提供配備 EtherCAT 接口的組件。EtherCAT 也被國際半導體產業協會（SEMI?）采納為通信標準（E54.20）?；谶@一考量，Fabien Bruning 也在致力于將打印頭開發為配備 EtherCAT 接口的獨立模塊：“這將使半導體行業的其他企業更便利地將我們的技術集成到他們的設備中。”此外，多個打印模塊可以組合成一個大型打印頭，通過 EtherCAT 的分布式時鐘和 XFC 技術，實現更大尺寸結構的高精度打印。

Fonontech 目前使用的是 C6017 超緊湊型工業 PC，該設備搭載了 TwinCAT 3 PLC/NC PTP、TwinCAT 3 Target for Simulink? 和 TwinCAT 3 HMI。圖像處理應用目前部署在 C5240 19 英寸抽拉式工業 PC。Fabien Bruning 評論道：“雖然我們完全可以在 C6017 上運行該算法，但在開發階段將其部署在獨立的工業 PC 上更加便捷。”

02  目標：實現 5 微米級分辨率

原型機目前正在基板上打印多個寬度為 10 微米的圖案?！叭绱司毜慕Y構已超越大多數印刷技術的工藝極限?！盧ob Hendriks 解釋道。然而，Fonontech 并不滿足于此，其目標是要實現線寬 5 微米且套刻誤差范圍控制在亞微米級的精密打印工藝。實現這種高精度印刷所需的精確時序控制依托的正是倍福的 XFC 極速控制技術。同時，還需將現有運動控制方案升級至采用空氣軸承的亞微米級定位平臺?！暗靡嬗诨?PC 的控制系統的開放性和靈活性，整套方案可以與現有的硬件和控制解決方案無縫對接?！盨tijn de Bruin 說道。

在該系統的測試版中，除空氣軸承系統外，還集成了多種電機變體及一個搬運平臺。針對最高 48 V 的低壓場景的緊湊型驅動技術 — EL72xx EtherCAT 伺服電機端子模塊和 AM8100 伺服電機 — 可以進一步節省安裝調試階段的占用空間及成本投入。Fabien Bruning 認為，分布式控制器和 EtherCAT 功能的集成是另一種值得探索的技術方案：“事實上，若想開發并推廣配備高性能從站控制器及集成運動控制的功能單元，市場上基于 PC 的控制技術的替代方案并不多見?！?/p>