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在半導體制造中，光刻機負責將電路圖案刻在晶圓上，而晶圓在工序中傳輸時，精準定位與精確計數(shù)是流程的關鍵。研發(fā)手動光刻機時，廠商面臨多重挑戰(zhàn)，晶圓存于傳輸盒需逐層拾取，要確保每層單張避免疊加。設備底部安裝空間狹小，底層晶圓距傳感器僅約 20 毫米，常規(guī)傳感器因盲區(qū)無法檢測。同時，還需在保證檢測精度與成本的同時，實現(xiàn)數(shù)據(jù)實時采集和設備預防性維護，以保障光刻機穩(wěn)定高效運行。
堡盟U300：小身材大能量的破局之道
核心應用場景：晶圓蛋糕盒的 “智能慧眼”
堡盟U300超聲波傳感器被安裝于晶圓蛋糕盒底部，通過聲錐自下而上掃描每層晶圓，實現(xiàn)兩大關鍵功能：
· 距離檢測定位：精準測量晶圓位置，確保拾取路徑準確;
· 計數(shù)管理：通過層數(shù)信號反饋，避免多片拾取或漏檢。
為什么選擇堡盟？三大優(yōu)勢直擊痛點
緊湊設計+超短盲區(qū)
狹小空間的“量身定制”
· 一體式緊湊外殼，盲區(qū)僅 15mm(市場同類產(chǎn)品難以達到)，完美適配 20mm 近距檢測場景；
· 底部安裝不占用額外空間，契合手動光刻機的結(jié)構限制。
靈活可調(diào)+經(jīng)濟高效
性價比拉滿
· 感應距離15-500mm可調(diào)，適配不同規(guī)格晶圓蛋糕盒；
· 0-10V模擬量輸出，兼具經(jīng)濟型價格與穩(wěn)定性能，適配研發(fā)及小批量生產(chǎn)需求。
數(shù)字化接口+智能維護
未來工廠的 “提前布局”
· 集成IO-LINK接口，實時采集過程數(shù)據(jù)與診斷信息;
· 搭配堡盟免費BSS軟件，實現(xiàn)預防性維護，降低停機風險。
U300亮點解析：技術細節(jié)見真章
U300超聲波傳感器具備多項核心優(yōu)勢，在技術上有諸多亮點。
· 支持聲錐可調(diào)，擁有深錐、中等、寬錐三種模式，能夠適配不同尺寸晶圓的檢測需求，抗干擾能力強。
· 傳感器集成了動態(tài)平均與干擾濾波器，可減少環(huán)境噪聲影響，使測量更加穩(wěn)定。其內(nèi)置數(shù)據(jù)處理功能，能減輕PLC計算負擔，提升系統(tǒng)響應效率。
· 此外，500mm的測量范圍為同類產(chǎn)品中最大，可適應多樣化產(chǎn)線設計。
行業(yè)客戶表示：“堡盟U300解決了我們長期困擾的安裝空間與檢測精度矛盾，尤其是盲區(qū)控制和IO-LINK功能，既滿足了當下研發(fā)需求，也為未來產(chǎn)線升級打下了基礎。性價比遠超預期!”
用 “感知” 驅(qū)動半導體未來
在半導體制造向納米級精度邁進的今天，傳感器作為 “工業(yè)神經(jīng)” 的作用愈發(fā)關鍵。堡盟U300以毫米級的檢測精度、靈活的適配能力，成為光刻機晶圓傳輸環(huán)節(jié)的 “隱形守護者”，為中國半導體研發(fā)與生產(chǎn)注入精密動力。
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北京市公安局海淀分局備案號：11010802023656號