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多層復(fù)合玻璃測量
近日，中國科學院沈陽自動化研究所科研團隊針對多層復(fù)合玻璃厚度測量，提出了一種基于正交色散的大量程高精度譜域光學低相干測量方法。該研究成果于近期在線發(fā)表于國際儀器測量領(lǐng)域期刊IEEE TRANSACTIONS ON INSTRUMENTATION AND MEASUREMENT（中國科學院2區(qū)TOP期刊，影響因子5.6）。
多層復(fù)合玻璃用途廣泛，普遍采用“有機玻璃-透明聚碳酸酯-有機玻璃”的異質(zhì)多層復(fù)合式結(jié)構(gòu)，其性能取決于加工過程中對多層復(fù)合玻璃中間耦合層（透明聚碳酸酯）的厚度的控制。然而現(xiàn)有測量方法大多只能測量多層復(fù)合玻璃的外層廓形及粗糙度，難以測量中間層的厚度、廓形以及結(jié)合面平整度，導(dǎo)致多層復(fù)合玻璃性能與理論設(shè)計無法閉環(huán)，制約了其性能的精確評價與調(diào)控。
為了解決上述問題，沈陽自動化所研究團隊提出了一種基于正交色散的大量程高精度譜域光學低相干測量方法。科研人員通過使用虛像相控陣列和光柵搭建的正交色散系統(tǒng)，將干涉光信號轉(zhuǎn)變?yōu)槊嫔⒐庑盘枺焕霉庾V相機采集面色散光信號，并通過信號解調(diào)技術(shù)對面色散光信號進行解調(diào)，從而得到玻璃厚度。科研團隊利用該方法開展了測量試驗。結(jié)果表明，該方法可測量最大厚度為41mm的多層復(fù)合玻璃，最大測量速度440點/秒，最優(yōu)測量精度0.005mm。
該研究成果得到了國家重點研發(fā)計劃、博士后面上科學基金、遼寧省中央引導(dǎo)地方科技發(fā)展專項等項目的支持。（工藝裝備與智能機器人研究室）
來源：中國科學院沈陽自動化研究所
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