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西安交大研制出國內(nèi)首創(chuàng)耐高溫壓力傳感器
  • 點擊數(shù):2719     發(fā)布時間:2004-06-25 09:47:00
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    由西安交通大學(xué)研制的一種硅隔離耐高溫微型壓力傳感器,能在-30℃~250℃環(huán)境下進(jìn)行壓力測量,并能承受2000℃瞬時高溫沖擊,從而有效解決了我國航空航天、石油化工、汽車工業(yè)等領(lǐng)域高溫環(huán)境下壓力測量的技術(shù)難題。

 

    常規(guī)的硅壓力傳感器只能在120℃以下進(jìn)行壓力測量,超過120℃時,傳感器的性能會嚴(yán)重惡化以至失效,當(dāng)傳感器遇到被測流體大于1000℃瞬時高溫沖擊時,敏感元件就會被燒壞,導(dǎo)致信號處理系統(tǒng)和電路的極度失調(diào)。    

 

    西安交大精密工程研究所教授蔣莊德率領(lǐng)課題組經(jīng)過4年的研究,研制成功的硅隔離耐高溫微型壓力傳感器,解決了瞬時高溫沖擊下傳感器失效的難題。這個產(chǎn)品已在有關(guān)單位投入試用,業(yè)界人士認(rèn)為,該產(chǎn)品成本低、性能穩(wěn)定可靠、工藝兼容性好、體積小、靈敏度高,不僅在靜態(tài)精度、耐高溫工作能力及動態(tài)響應(yīng)能力等技術(shù)指標(biāo)上可與國外同類先進(jìn)產(chǎn)品媲美,而且在耐瞬時高溫沖擊、工作量程等性能指標(biāo)上有獨到之處,有效解決了長期困擾企業(yè)的高溫下進(jìn)行壓力測量的難題。

 

    在教育部日前組織的科技成果鑒定中,專家認(rèn)為這項科技成果屬國內(nèi)首創(chuàng),打破了國外同類產(chǎn)品對我國傳感器市場的壟斷,提升了我國這一行業(yè)的整體水平和國際競爭力,具有很高的推廣和使用價值。

 

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