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案例頻道作者：楊怡，陳果（杭州士蘭集昕微電子有限公司，浙江 杭州 310000）
摘要：大束流離子注入機是半導(dǎo)體行業(yè)中一種十分重要的設(shè)備，在生產(chǎn)過程中，影響注入機產(chǎn)品良率和產(chǎn)能的關(guān)鍵因素是顆粒的多少。大束流離子注入機采用靶盤式結(jié)構(gòu)，腔體空間大，腔體內(nèi)真空度相較于中束流離子注入機低，束流路徑大，因此產(chǎn)生顆粒的幾率更大。本文先分析了大束流離子注入機顆粒產(chǎn)生的原因，然后提出了氣體傳導(dǎo)率限制縫和鋸齒石墨兩種減少顆粒的結(jié)構(gòu)設(shè)計，并進行了實驗驗證，最后給出了顆粒偏高后查找顆粒源的幾種方法。
關(guān)鍵詞：離子注入機；顆粒減少；氣體傳導(dǎo)率限制縫；鋸齒石墨；顆粒源
在線預(yù)覽：大束流離子注入機顆粒改善
摘自《自動化博覽》2018年7月刊
北京市公安局海淀分局備案號：11010802023656號